
| ລາຍການ | ຊັບສິນທາງດ້ານເຕັກນິກ |
| ໄຟນີອອນທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ | |
| ຄວາມບໍລິສຸດຂອງນີອອນ (Ne) (ສ່ວນປະລິມານ)/10-2≥ | 99.999 |
| ປະລິມານຮີລຽມ (He) (ສ່ວນປະລິມານ)/10-6≤ | 6 |
| ໄຮໂດຣເຈນ (H2) ເນື້ອໃນ (ສ່ວນປະລິມານ)/10-6≤ | 1 |
| ອົກຊີເຈນ + ອາກອນ (ຄິດໄລ່ໂດຍອົກຊີເຈນ) (O2+Ar) ເນື້ອໃນ (ສ່ວນປະລິມານ)/10-6≤ | 1 |
| ໄນໂຕຣເຈນ (N)2) ເນື້ອໃນ (ສ່ວນປະລິມານ) zz/10-6≤ | 2 |
| ປະລິມານຄາບອນມໍນອກໄຊດ໌ (CO) (ປະລິມານສ່ວນ)/10-6≤ | 0.2 |
| ຄາບອນໄດອອກໄຊ (CO2)2) ເນື້ອໃນ (ສ່ວນປະລິມານ)/10-6≤ | 0.2 |
| ມີເທນ (CH4)4) ເນື້ອໃນ (ສ່ວນປະລິມານ)/10-6≤ | 0.1 |
| ນ້ຳ (H2O) ເນື້ອໃນ (ສ່ວນປະລິມານ)/10-6≤ | 2 |
| ປະລິມານສິ່ງເຈືອປົນທັງໝົດ (ສ່ວນປະລິມານ)/10-6≤ | 10 |