
| వస్తువు | సాంకేతిక లక్షణం |
| అధిక స్వచ్ఛత గల నియాన్ | |
| నియాన్ (Ne) స్వచ్ఛత (ఘనపరిమాణ భిన్నం)/10-2≥ | 99.999 |
| హీలియం (He) పరిమాణం (ఘనపరిమాణ భిన్నం)/10-6≤ | 6 |
| హైడ్రోజన్ (H2) కంటెంట్ (వాల్యూమ్ ఫ్రాక్షన్)/10-6≤ | 1 |
| ఆక్సిజన్+ఆర్గాన్ (ఆక్సిజన్ ద్వారా లెక్కించబడింది) (O2+Ar) కంటెంట్ (వాల్యూమ్ ఫ్రాక్షన్)/10-6≤ | 1 |
| నత్రజని (N2) కంటెంట్ (వాల్యూమ్ ఫ్రాక్షన్) zz/10-6≤ | 2 |
| కార్బన్ మోనాక్సైడ్ (CO) పరిమాణం (ఘనపరిమాణ భిన్నం)/10-6≤ | 0.2 |
| కార్బన్ డయాక్సైడ్ (CO2)2) కంటెంట్ (వాల్యూమ్ ఫ్రాక్షన్)/10-6≤ | 0.2 |
| మీథేన్ (CH4) కంటెంట్ (వాల్యూమ్ ఫ్రాక్షన్)/10-6≤ | 0.1 |
| నీరు (H2O) కంటెంట్ (వాల్యూమ్ ఫ్రాక్షన్)/10-6≤ | 2 |
| మొత్తం మలినాల శాతం (ఘనపరిమాణ భిన్నం)/10-6≤ | 10 |