
| アイテム | 技術特性 |
| アルゴン(Ar)の純度(体積比)/10-2≥ | 99.999 |
| 水素(H2)含有量(体積比)/10-6≤ | 0.5 |
| 酸素(O2)含有量(体積比)/10-6≤ | 1.5 |
| 窒素(N2)含有量(体積比)/10-6≤ | 4 |
| メタン(CH₄)4)含有量(体積比)/10-6≤ | 0.4 |
| 一酸化炭素(CO)含有量(体積比)/10-6≤ | 0.3 |
| 二酸化炭素(CO₂)2)含有量(体積比)/10-6≤ | 0.3 |
| 水(H)2O) 含有量(体積比)/10-6≤ | 3 |
| 注:液体アルゴンは水分含有量を検出しません |