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電子産業用アルゴンガス（Ar）
| アイテム | 技術特性 | |
| アルゴン（Ar）の純度（体積比）/10-2≥ | 99.9999 | 99.9992 |
| 水素（H2）含有量（体積比）/10-6≤ | 0.1 | 1 |
| 窒素（N2）含有量（体積比）/10-6≤ | 0.5 | 5 |
| 酸素（O2）含有量（体積比）/10-6≤ | 0.2 | 0.5 |
| 一酸化炭素（CO）と二酸化炭素（CO₂）の総量2), （体積分率）/10-6≤ | 一酸化炭素：0.1 二酸化炭素：0.1 | 0.5 |
| 総炭化水素含有量（メタン換算）（体積比）/10-6≤ | 0.1 | 0.5 |
| 水（H）2O) 含有量（体積比）/10-6≤ | 0.2 | 0.5 |
| 総不純物含有量（体積分率）/10-6≤ | 1 | 8 |
| 粒 | 供給者と需要者双方の合意 | 供給者と需要者双方の合意 |
| 注：液体アルゴンの水分含有量は、ガス化後に測定する。 | ||
適用分野：主にシステムのパージ、保護、加圧に使用されます。また、化学気相成長法、スパッタリング、プラズマエッチング、活性イオンエッチング、アニーリングなどの様々なプロセス、および電子機器用特殊混合ガスにも使用できます。
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