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Gaz argon pour l'industrie électronique (Ar)
| Article | Propriété technique | |
| Pureté de l'argon (Ar) (fraction volumique)/10-2≥ | 99,9999 | 99,9992 |
| Hydrogène (H2) contenu (fraction volumique)/10-6≤ | 0,1 | 1 |
| Azote (N2) contenu (fraction volumique)/10-6≤ | 0,5 | 5 |
| Oxygène (O2) contenu (fraction volumique)/10-6≤ | 0,2 | 0,5 |
| Teneur totale en monoxyde de carbone (CO) et en dioxyde de carbone (CO₂).2), (fraction volumique)/10-6≤ | Monoxyde de carbone : 0,1 dioxyde de carbone : 0,1 | 0,5 |
| Teneur totale en hydrocarbures (calculée à partir du méthane) (fraction volumique)/10-6≤ | 0,1 | 0,5 |
| Eau (H2O) teneur (fraction volumique)/10-6≤ | 0,2 | 0,5 |
| Teneur totale en impuretés (fraction volumique)/10-6≤ | 1 | 8 |
| Grain | Accord entre le fournisseur et le demandeur | Accord entre le fournisseur et le demandeur |
| Remarque : La teneur en eau de l'argon liquide doit être mesurée après gazéification. | ||
Domaine d'application : principalement utilisé pour la purge, la protection et la pressurisation des systèmes. Il peut également être utilisé en dépôt chimique en phase vapeur, en pulvérisation cathodique, en gravure plasma et ionique active, en recuit et dans divers autres procédés, ainsi que dans les mélanges gazeux spéciaux pour l'électronique.
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