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Argongas für die Elektronikindustrie (Ar)
| Artikel | Technische Eigenschaften | |
| Argon (Ar) Reinheit (Volumenanteil)/10-2≥ | 99,9999 | 99,9992 |
| Wasserstoff (H2) Gehalt (Volumenanteil)/10-6≤ | 0,1 | 1 |
| Stickstoff (N2) Gehalt (Volumenanteil)/10-6≤ | 0,5 | 5 |
| Sauerstoff (O2) Gehalt (Volumenanteil)/10-6≤ | 0,2 | 0,5 |
| Gesamtgehalt an Kohlenmonoxid (CO) und Kohlendioxid (CO2)2), (Volumenanteil)/10-6≤ | Kohlenmonoxid: 0,1 Kohlendioxid: 0,1 | 0,5 |
| Gesamtgehalt an Kohlenwasserstoffen (berechnet aus Methan) (Volumenanteil)/10-6≤ | 0,1 | 0,5 |
| Wasser (H2O) Gehalt (Volumenanteil)/10-6≤ | 0,2 | 0,5 |
| Gesamtverunreinigungsgehalt (Volumenanteil)/10-6≤ | 1 | 8 |
| Getreide | Vom Lieferanten und vom Abnehmer vereinbart | Vom Lieferanten und vom Abnehmer vereinbart |
| Hinweis: Der Wassergehalt des flüssigen Argons muss nach der Vergasung gemessen werden. | ||
Anwendungsgebiet: Hauptsächlich wird es zur Spülung, zum Schutz und zur Druckbeaufschlagung von Systemen eingesetzt. Es kann auch bei chemischer Gasphasenabscheidung, Sputtern, Plasma- und Ionenätzen, Glühprozessen und anderen Verfahren sowie in speziellen elektronischen Gasmischungen verwendet werden.
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