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इलेक्ट्रॉनिक उद्योग के लिए आर्गन गैस (Ar)
| वस्तु | तकनीकी गुण | |
| आर्गन (Ar) की शुद्धता (आयतन अंश)/10-2≥ | 99.9999 | 99.9992 |
| हाइड्रोजन (H2सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 0.1 | 1 |
| नाइट्रोजन (N2सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 0.5 | 5 |
| ऑक्सीजन (O2सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 0.2 | 0.5 |
| कार्बन मोनोऑक्साइड (CO) और कार्बन डाइऑक्साइड (CO) की कुल मात्रा2), (आयतन अंश)/10-6≤ | कार्बन मोनोऑक्साइड: 0.1 कार्बन डाइऑक्साइड: 0.1 | 0.5 |
| कुल हाइड्रोकार्बन (मीथेन द्वारा परिकलित) सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 0.1 | 0.5 |
| पानी (एच2O) सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 0.2 | 0.5 |
| कुल अशुद्धता सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 1 | 8 |
| अनाज | आपूर्तिकर्ता और खरीदार द्वारा सहमति प्राप्त | आपूर्तिकर्ता और खरीदार द्वारा सहमति प्राप्त |
| नोट: गैसीकरण के बाद तरल आर्गन में जल की मात्रा मापी जाएगी। | ||
अनुप्रयोग क्षेत्र: मुख्य रूप से सिस्टम की शुद्धिकरण, सुरक्षा और दबाव निर्धारण के लिए उपयोग किया जाता है। इसका उपयोग रासायनिक वाष्प निक्षेपण, स्पटरिंग, प्लाज्मा और सक्रिय आयन एचेंट, एनीलिंग और अन्य विभिन्न प्रक्रियाओं के साथ-साथ इलेक्ट्रॉनिक विशेष मिश्रित गैस में भी किया जा सकता है।
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