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इलेक्ट्रॉनिक हीलियम
| वस्तु | तकनीकी गुण |
| उच्च शुद्धता वाला हीलियम | |
| हीलियम (He) की शुद्धता (आयतन अंश)/10-2≥ | 99.999 |
| नियॉन (Ne) की मात्रा (आयतन अंश)/10-6≤ | 4 |
| हाइड्रोजन (H2सामग्री (आयतन अंश)/10-6 ≤ | 1 |
| ऑक्सीजन (O2सामग्री (आयतन अंश)/10-6 ≤ | 1 |
| आर्गन (Ar) की मात्रा (आयतन अंश)/10-6 ≤ | |
| नाइट्रोजन (N2सामग्री (आयतन अंश)/10-6 ≤ | 2 |
| कार्बन मोनोऑक्साइड (CO) की मात्रा (आयतन अंश)/10-6≤ | 0.5 |
| कार्बन डाइऑक्साइड (CO₂)2सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 0.5 |
| मीथेन (CH4सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 0.5 |
| पानी एच2ऑक्सीजन की मात्रा (आयतन अंश)/10-6≤ | 3 |
| पत्रिका की कुल सामग्री/10-6≤ | 10 |
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