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전자 헬륨

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목

기술적 속성

고순도 헬륨

헬륨(He) 순도(부피 분율)/10-2≥

99.999

네온(Ne) 함량(부피 분율)/10-6≤

4

수소(H)2) 함량(부피 분율)/10-6 ≤

1

산소(O₂)2) 함량(부피 분율)/10-6 ≤

1

아르곤(Ar) 함량(부피 분율)/10-6 ≤
질소(N)2) 함량(부피 분율)/10-6 ≤

2

일산화탄소(CO) 함량(부피 분율)/10-6≤

0.5

이산화탄소(CO₂)2) 함량(부피 분율)/10-6≤

0.5

메탄(CH₄)4) 함량(부피 분율)/10-6≤

0.5

물 H2산소 함량(부피 분율)/10-6≤

3

잡지 전체 콘텐츠/10-6≤

10


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