Libri
Gas argon per l'industria elettronica (Ar)
| Articolo | Proprietà tecnica | |
| Purezza dell'argon (Ar) (frazione di volume)/10-2≥ | 99,9999 | 99,9992 |
| Idrogeno (H2) contenuto (frazione di volume)/10-6≤ | 0,1 | 1 |
| Azoto (N2) contenuto (frazione di volume)/10-6≤ | 0,5 | 5 |
| Ossigeno (O2) contenuto (frazione di volume)/10-6≤ | 0,2 | 0,5 |
| Contenuto totale di monossido di carbonio (CO) e anidride carbonica (CO₂)2), (frazione di volume)/10-6≤ | Monossido di carbonio: 0,1 Anidride carbonica: 0,1 | 0,5 |
| Contenuto totale di idrocarburi (calcolato in base al metano) (frazione di volume)/10-6≤ | 0,1 | 0,5 |
| Acqua (H2O) contenuto (frazione di volume)/10-6≤ | 0,2 | 0,5 |
| Contenuto totale di impurità (frazione di volume)/10-6≤ | 1 | 8 |
| Grano | Accordo tra il fornitore e il richiedente | Accordo tra il fornitore e il richiedente |
| Nota: il contenuto di acqua dell'argon liquido deve essere misurato dopo la gassificazione. | ||
Campo di applicazione: utilizzato principalmente per la purga, la protezione e la pressurizzazione del sistema. Può essere impiegato anche nella deposizione chimica da fase vapore, nello sputtering, nell'incisione al plasma e a ioni attivi, nella ricottura e in altri processi, nonché nei gas speciali per applicazioni elettroniche.
Scrivi qui il tuo messaggio e inviacelo
