
| វត្ថុ | លក្ខណៈសម្បត្តិបច្ចេកទេស | |
| ភាពបរិសុទ្ធនៃអារហ្គុន (Ar) (ប្រភាគបរិមាណ)/10-2≥ | ៩៩.៩៩៩៩ | ៩៩.៩៩៩២ |
| អ៊ីដ្រូសែន (H2) មាតិកា (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | ០.១ | 1 |
| អាសូត (N2) មាតិកា (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | ០.៥ | 5 |
| អុកស៊ីសែន (O2) មាតិកា (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | ០.២ | ០.៥ |
| មាតិកាសរុបនៃកាបូនម៉ូណូអុកស៊ីត (CO) និងកាបូនឌីអុកស៊ីត (CO)2), (ប្រភាគបរិមាណ)/១០-6≤ | កាបូនម៉ូណូអុកស៊ីត៖ ០.១ កាបូនឌីអុកស៊ីត៖ ០.១ | ០.៥ |
| មាតិកាអ៊ីដ្រូកាបូនសរុប (គណនាដោយមេតាន) (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | ០.១ | ០.៥ |
| ទឹក (ហ2អូ) មាតិកា (ប្រភាគបរិមាណ)/១០-6≤ | ០.២ | ០.៥ |
| មាតិកាមិនបរិសុទ្ធសរុប (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | 1 | 8 |
| គ្រាប់ធញ្ញជាតិ | យល់ព្រមដោយអ្នកផ្គត់ផ្គង់ និងអ្នកស្នើសុំ | យល់ព្រមដោយអ្នកផ្គត់ផ្គង់ និងអ្នកស្នើសុំ |
| ចំណាំ៖ កម្រិតទឹកនៃអារហ្គុងរាវត្រូវតែវាស់វែងបន្ទាប់ពីការបំលែងឧស្ម័ន | ||
វិស័យអនុវត្ត៖ ភាគច្រើនប្រើសម្រាប់ការបន្សុទ្ធ ការការពារ និងការដាក់សម្ពាធលើប្រព័ន្ធ។ វាក៏អាចត្រូវបានប្រើក្នុងការដាក់ចំហាយគីមី ការបាញ់ទឹក ការឆ្លាក់ប្លាស្មា និងអ៊ីយ៉ុងសកម្ម ការដុតកម្តៅ និងដំណើរការផ្សេងៗ ក៏ដូចជានៅក្នុងឧស្ម័នចម្រុះពិសេសអេឡិចត្រូនិច។