제품
전자 산업용 아르곤 가스(Ar)
| 목 | 기술적 속성 | |
| 아르곤(Ar) 순도(부피 분율)/10-2≥ | 99.9999 | 99.9992 |
| 수소(H)2) 함량(부피 분율)/10-6≤ | 0.1 | 1 |
| 질소(N)2) 함량(부피 분율)/10-6≤ | 0.5 | 5 |
| 산소(O₂)2) 함량(부피 분율)/10-6≤ | 0.2 | 0.5 |
| 일산화탄소(CO)와 이산화탄소(CO₂)의 총 함량2), (부피 분율)/10-6≤ | 일산화탄소: 0.1 이산화탄소: 0.1 | 0.5 |
| 총 탄화수소 함량(메탄으로 계산)(부피 분율)/10-6≤ | 0.1 | 0.5 |
| 물(H)2O) 함량(부피 분율)/10-6≤ | 0.2 | 0.5 |
| 총 불순물 함량(부피 분율)/10-6≤ | 1 | 8 |
| 곡물 | 공급자와 수요자 간 합의 | 공급자와 수요자 간 합의 |
| 참고: 액체 아르곤의 수분 함량은 기화 후 측정해야 합니다. | ||
적용 분야: 주로 시스템의 퍼징, 보호 및 가압에 사용됩니다. 또한 화학 기상 증착, 스퍼터링, 플라즈마 및 활성 이온 에칭, 어닐링 및 기타 다양한 공정은 물론 전자 특수 혼합 가스에도 사용할 수 있습니다.
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