
| ລາຍການ | ຊັບສິນທາງດ້ານເຕັກນິກ |
| ຮີລຽມທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ | |
| ຄວາມບໍລິສຸດຂອງຮີລຽມ He (ສ່ວນປະລິມານ)/10-2≥ | 99.999 |
| ປະລິມານນີອອນ (Ne) (ສ່ວນປະລິມານ)/10-6≤ | 4 |
| ໄຮໂດຣເຈນ (H2) ເນື້ອໃນ (ສ່ວນປະລິມານ)/10-6 ≤ | 1 |
| ອົກຊີເຈນ (O2) ເນື້ອໃນ (ສ່ວນປະລິມານ)/10-6 ≤ | 1 |
| ປະລິມານອາກອນ (Ar) (ສ່ວນປະລິມານ)/10-6 ≤ | |
| ໄນໂຕຣເຈນ (N)2) ເນື້ອໃນ (ສ່ວນປະລິມານ)/10-6 ≤ | 2 |
| ປະລິມານຄາບອນມໍນອກໄຊດ໌ (CO) (ປະລິມານສ່ວນ)/10-6≤ | 0.5 |
| ຄາບອນໄດອອກໄຊ (CO2)2) ເນື້ອໃນ (ສ່ວນປະລິມານ)/10-6≤ | 0.5 |
| ມີເທນ (CH4)4) ເນື້ອໃນ (ສ່ວນປະລິມານ)/10-6≤ | 0.5 |
| ນ້ຳ H2ປະລິມານ O (ສ່ວນປະລິມານ)/10-6≤ | 3 |
| ເນື້ອໃນວາລະສານທັງໝົດ/10-6≤ | 10 |