Продукты
Аргон (Ar) — газ для электронной промышленности.
| Элемент | Технические свойства | |
| Чистота аргона (Ar) (объемная доля)/10-2≥ | 99.9999 | 99.9992 |
| Водород (H)2) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 0.1 | 1 |
| Азот (N)2) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 0,5 | 5 |
| Кислород (O)2) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 0.2 | 0,5 |
| Общее содержание оксида углерода (CO) и диоксида углерода (CO₂).2), (объемная доля)/10-6≤ | Оксид углерода: 0,1 Углекислый газ: 0,1 | 0,5 |
| Общее содержание углеводородов (рассчитанное по метану) (объемная доля)/10-6≤ | 0.1 | 0,5 |
| Вода (H)2O) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 0.2 | 0,5 |
| Общее содержание примесей (объемная доля)/10-6≤ | 1 | 8 |
| Зерно | Согласовано поставщиком и заказчиком. | Согласовано поставщиком и заказчиком. |
| Примечание: Содержание воды в жидком аргоне следует измерять после газификации. | ||
Область применения: в основном используется для продувки, защиты и создания давления в системе. Также может применяться в процессах химического осаждения из паровой фазы, магнетронного распыления, плазменного и ионного травления, отжига и других процессах, а также в специальных смесях газов для электроники.
Напишите здесь своё сообщение и отправьте его нам.
