
| Mea | Meatotino Fa'atekinolosi | |
| Argon (Ar) mama (vaega o le voluma)/10-2≥ | 99.9999 | 99.9992 |
| Haidrone (H2) anotusi (vaega o le voluma)/10-6≤ | 0.1 | 1 |
| Nitrogen (N2) anotusi (vaega o le voluma)/10-6≤ | 0.5 | 5 |
| Okesene (O2) anotusi (vaega o le voluma)/10-6≤ | 0.2 | 0.5 |
| Aofa'iga atoa o le kaponi monoksisa (CO) ma le kaponi taiokesaita (CO2), (vaega o le voluma)/10-6≤ | Kaponi monokisaita: 0.1 Kaponi taiokesaita: 0.1 | 0.5 |
| Aofa'i o le hydrocarbon (fuafuaina e le methane) o lo'o iai (vaega o le voluma)/10-6≤ | 0.1 | 0.5 |
| Vai (H2O) anotusi (vaega o le voluma)/10-6≤ | 0.2 | 0.5 |
| Aofa'i o mea leaga (vaega o le voluma)/10-6≤ | 1 | 8 |
| Saito | Ua malilie i ai le Fa'atau'oloa ma le Fa'atau'oloa | Ua malilie i ai le Fa'atau'oloa ma le Fa'atau'oloa |
| Manatua: E tatau ona fuaina le aofaʻi o le vai o le argon vai pe a uma ona faʻakasaina | ||
Fa'aoga: e fa'aaogaina tele mo le fa'amamāina, puipuiga ma le fa'amalosia o le faiga. E mafai foi ona fa'aaogaina i le fa'aputuina o le ausa vaila'au, sputtering, plasma ma le active ion etchant, annealing ma isi faiga eseese, fa'apea fo'i ma le kesi fa'afefiloi fa'apitoa fa'aeletoronika.