
| Mục | Đặc tính kỹ thuật |
| Heli tinh khiết cao | |
| Độ tinh khiết của Heli (He) (phần trăm thể tích)/10-2≥ | 99.999 |
| Hàm lượng Neon (Ne) (phần trăm thể tích)/10-6≤ | 4 |
| Hydro (H)2) hàm lượng (phần trăm thể tích)/10-6 ≤ | 1 |
| Oxy (O)2) hàm lượng (phần trăm thể tích)/10-6 ≤ | 1 |
| Hàm lượng Argon (Ar) (phần trăm thể tích)/10-6 ≤ | |
| Nitơ (N)2) hàm lượng (phần trăm thể tích)/10-6 ≤ | 2 |
| Hàm lượng carbon monoxide (CO) (phần trăm thể tích)/10-6≤ | 0,5 |
| Khí cacbonic (CO₂)2) hàm lượng (phần trăm thể tích)/10-6≤ | 0,5 |
| Methane (CH4) hàm lượng (phần trăm thể tích)/10-6≤ | 0,5 |
| Nước H2Hàm lượng O (phần trăm thể tích)/10-6≤ | 3 |
| Tổng nội dung tạp chí/10-6≤ | 10 |