
| እቃ | የቴክኒክ ንብረት | ||
| ከፍተኛ ንፁህ ዜኖን GB/T5828-2006 | እጅግ በጣም ጥሩ ዜኖን | ||
| የዜኖን (Xe) ንፅህና (የድምጽ ክፍልፋይ)/10-2≥ | 99.999 | 99.9995 | 99.9999 |
| ናይትሮጅን (ኤን)2) ይዘት (የድምጽ ክፍልፋይ)/10-6≤ | 2.5 | 1.5 | 0.2 |
| ኦክስጅን (O2)2) ይዘት (የድምጽ ክፍልፋይ)/10-6≤ | 1.5(ኦ)2+አር) | 0.5(ኦ)2+አር) | 0.1 |
| የአርጎን (አር) ይዘት (የድምጽ ክፍልፋይ)/10-6≤ | 0.05 | ||
| ሃይድሮጂን (ኤች)2) ይዘት (የድምጽ ክፍልፋይ)/10-6≤ | 0.5 | 0.5 | 0.05 |
| የካርቦን ሞኖክሳይድ (CO) ይዘት (የመጠን ክፍልፋይ)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05(CO+CO)2) |
| የካርቦን ዳይኦክሳይድ (CO2) ይዘት (የመጠን ክፍልፋይ)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | |
| ሚቴን (CH)4) ይዘት (የድምጽ ክፍልፋይ)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | 0.05 |
| ውሃ (ኤች)2ኦ) ይዘት (የድምጽ ክፍልፋይ)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
| የክሪፕተን (ክሮ) ይዘት (የድምጽ ክፍልፋይ)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
| ናይትረስ ኦክሳይድ (ኤን)2ኦ) ይዘት (የድምጽ ክፍልፋይ)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05 |
| ፍሎራይድ (ሲ)2F6) ይዘት (የድምጽ ክፍልፋይ)/10-6≤ | 0.5 | 0.1 | 0.05 |
| ፍሎራይድ (ኤስኤፍ)6) ይዘት (የድምጽ ክፍልፋይ)/10-6≤ | የለም | የለም | 0.05 |
የማመልከቻ መስኮች፡ በዋናነት በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ፣ በኤሮስፔስ፣ በኤሌክትሪክ ብርሃን ምንጭ ኢንዱስትሪ፣ በሕክምና ህክምና፣ በኤሌክትሪክ ቫክዩም፣ በጨለማ ቁስ ምርምር፣ በሌዘር እና በሌሎች መስኮች ጥቅም ላይ ይውላሉ