
| Barang | Properti Téknis | ||
| Xenon kamurnian luhur GB/T5828-2006 | Xenon ultra murni | ||
| Kamurnian Xenon (Xe) (fraksi volume)/10-2≥ | 99.999 | 99.9995 | 99.9999 |
| Nitrogén (N2) eusi (fraksi volume)/10-6≤ | 2.5 | 1.5 | 0.2 |
| Oksigén (O2) eusi (fraksi volume)/10-6≤ | 1.5(O2+Ar) | 0.5(O2+Ar) | 0.1 |
| Eusi Argon (Ar) (fraksi volume)/10-6≤ | 0.05 | ||
| Hidrogén (H2) eusi (fraksi volume)/10-6≤ | 0.5 | 0.5 | 0.05 |
| Eusi karbon monoksida (CO) (fraksi volume)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05(CO+CO2) |
| Eusi karbon dioksida (CO2) (fraksi volume)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | |
| Metana (CH4) eusi (fraksi volume)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | 0.05 |
| Cai (H2O) eusi (fraksi volume)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
| Eusi Kripton (Kr) (fraksi volume)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
| Nitrogén oksida (N2O) eusi (fraksi volume)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05 |
| Fluorida (C2F6) eusi (fraksi volume)/10-6≤ | 0.5 | 0.1 | 0.05 |
| Fluorida (SF)6) eusi (fraksi volume)/10-6≤ | Teu aya | Teu aya | 0.05 |
Widang aplikasi: utamina dianggo dina industri semikonduktor, aerospace, industri sumber cahaya listrik, perawatan médis, vakum listrik, panalungtikan materi poék, laser sareng widang sanésna