
| รายการ | คุณสมบัติทางเทคนิค | ||
| ซีนอนความบริสุทธิ์สูง GB/T5828-2006 | ซีนอนบริสุทธิ์พิเศษ | ||
| ความบริสุทธิ์ของซีนอน (Xe) (เศษส่วนปริมาตร)/10-2≥ | 99.999 | 99.9995 | 99.9999 |
| ไนโตรเจน (N)2) ปริมาณ (เศษส่วนปริมาตร)/10-6≤ | 2.5 | 1.5 | 0.2 |
| ออกซิเจน (O2) ปริมาณ (เศษส่วนปริมาตร)/10-6≤ | 1.5(O2+อาร์) | 0.5(O2+อาร์) | 0.1 |
| ปริมาณอาร์กอน (Ar) (เศษส่วนปริมาตร)/10-6≤ | 0.05 | ||
| ไฮโดรเจน (H)2) ปริมาณ (เศษส่วนปริมาตร)/10-6≤ | 0.5 | 0.5 | 0.05 |
| ปริมาณคาร์บอนมอนอกไซด์ (CO) (เศษส่วนปริมาตร)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05(CO+CO2) |
| ปริมาณคาร์บอนไดออกไซด์ (CO2) (เศษส่วนปริมาตร)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | |
| มีเทน (CH4) ปริมาณ (เศษส่วนปริมาตร)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | 0.05 |
| น้ำ (H2O) ปริมาณ (เศษส่วนปริมาตร)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
| ปริมาณคริปตอน (Kr) (เศษส่วนปริมาตร)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
| ไนตรัสออกไซด์ (N2O) ปริมาณ (เศษส่วนปริมาตร)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05 |
| ฟลูออไรด์ (C)2F6) ปริมาณ (เศษส่วนปริมาตร)/10-6≤ | 0.5 | 0.1 | 0.05 |
| ฟลูออไรด์ (SF)6) ปริมาณ (เศษส่วนปริมาตร)/10-6≤ | ไม่มีข้อมูล | ไม่มีข้อมูล | 0.05 |
สาขาการใช้งาน: ส่วนใหญ่ใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ อวกาศ อุตสาหกรรมแหล่งกำเนิดแสงไฟฟ้า การรักษาพยาบาล สุญญากาศไฟฟ้า การวิจัยสสารมืด เลเซอร์ และสาขาอื่นๆ