প্রয়োগক্ষেত্র: প্রধানত সিস্টেমের পরিশোধন, সুরক্ষা এবং চাপ প্রয়োগের জন্য ব্যবহৃত হয়। এটি রাসায়নিক বাষ্প জমা পদ্ধতি, স্পাটারিং, প্লাজমা ও সক্রিয় আয়ন এচ্যান্ট, অ্যানিলিং এবং অন্যান্য বিভিন্ন প্রক্রিয়ায়, সেইসাথে ইলেকট্রনিক বিশেষ মিশ্র গ্যাসেও ব্যবহার করা যেতে পারে।