Cov khoom
Cov roj argon rau kev lag luam hluav taws xob (Ar)
| Khoom | Cov Khoom Siv Txuj Ci | |
| Argon (Ar) kev huv si (ntim feem) / 10-2≥ | 99.9999 | 99.9992 |
| Hydrogen (H2) cov ntsiab lus (feem ntim) / 10-6≤ | 0.1 | 1 |
| Nitrogen (N)2) cov ntsiab lus (feem ntim) / 10-6≤ | 0.5 | 5 |
| Cov pa oxygen (O)2) cov ntsiab lus (feem ntim) / 10-6≤ | 0.2 | 0.5 |
| Tag nrho cov ntsiab lus ntawm cov pa roj carbon monoxide (CO) thiab cov pa roj carbon dioxide (CO)2), (feem ntim) / 10-6≤ | Cov pa roj carbon monoxide: 0.1 Cov pa roj carbon dioxide: 0.1 | 0.5 |
| Tag nrho cov hydrocarbon (xam los ntawm methane) cov ntsiab lus (ntim feem) / 10-6≤ | 0.1 | 0.5 |
| Dej (H2O) cov ntsiab lus (feem ntim) / 10-6≤ | 0.2 | 0.5 |
| Tag nrho cov ntsiab lus tsis huv (feem ntim) / 10-6≤ | 1 | 8 |
| Cov nplej | Pom zoo los ntawm Tus Neeg Muab Khoom thiab Tus Neeg Thov | Pom zoo los ntawm Tus Neeg Muab Khoom thiab Tus Neeg Thov |
| Lus Cim: Cov dej hauv cov kua argon yuav tsum ntsuas tom qab ua pa roj | ||
Daim ntawv thov: feem ntau yog siv rau kev ntxuav, kev tiv thaiv thiab kev nias ntawm lub cev. Nws kuj tseem siv tau rau hauv kev tso cov pa tshuaj lom neeg, sputtering, plasma thiab active ion etchant, annealing thiab lwm yam txheej txheem sib txawv, nrog rau hauv cov roj sib xyaw tshwj xeeb hauv hluav taws xob.
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