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  • 電子ヘリウム

電子ヘリウム

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技術特性

高純度ヘリウム
ヘリウムの純度（体積比）/10-2≥

99.999
ネオン（Ne）含有量（体積比）/10-6≤

4
水素（H2）含有量（体積比）/10-6 ≤

1
酸素（O2）含有量（体積比）/10-6 ≤

1
アルゴン（Ar）含有量（体積比）/10-6 ≤
窒素（N2）含有量（体積比）/10-6 ≤

2
一酸化炭素（CO）含有量（体積比）/10-6≤

0.5
二酸化炭素（CO₂）2）含有量（体積比）/10-6≤

0.5
メタン（CH₄）4）含有量（体積比）/10-6≤

0.5
水H2酸素含有量（体積比）/10-6≤

3
雑誌コンテンツ合計/10-6≤

10
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