
| アイテム | 技術特性 | ||
| 高純度クリプトン GB/T5829-2006 | 超高純度クリプトン | ||
| Krの純度(体積分率)/10-2≥ | 99.999 | 99.9995 | 99.9999 |
| 窒素(N2)含有量(体積比)/10-6≤ | 2 | 1.5 | 0.2 |
| 酸素(O2)含有量(体積比)/10-6≤ | 1.5(O2+Ar) | 0.5(O2+Ar) | 0.1 |
| アルゴン(Ar)含有量(体積比)/10-6≤ | 0.05 | ||
| 水素(H2)含有量(体積比)/10-6≤ | 0.5 | 0.2 | 0.05 |
| 一酸化炭素(CO)含有量(体積比)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | 0.05 |
| 二酸化炭素(CO₂)2)含有量(体積比)/10-6≤ | 0.4 | 0.1 | 0.05 |
| メタン(CH₄)4)含有量(体積比)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | 0.05 |
| 水(H)2O) 含有量(体積比)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.2 |
| キセノン(Xe)含有量(体積比)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.2 |
| フッ化物(CF)4)含有量(体積比)/10-6≤ | 1 | 0.2 | 0.05 |
応用分野:主に半導体産業、真空電気産業、光源産業、レーザーガス、医療・健康分野などで使用されています。