製品
高純度キセノンおよび超高純度キセノン（Xe：5N、5.5N、6N）
| アイテム | 技術特性 | ||
| 高純度キセノン GB/T5828-2006 | 超高純度キセノン | ||
| キセノン（Xe）の純度（体積比）/10-2≥ | 99.999 | 99.9995 | 99.9999 |
| 窒素（N2）含有量（体積比）/10-6≤ | 2.5 | 1.5 | 0.2 |
| 酸素（O2）含有量（体積比）/10-6≤ | 1.5(O2+Ar) | 0.5(O2+Ar) | 0.1 |
| アルゴン（Ar）含有量（体積比）/10-6≤ | 0.05 | ||
| 水素（H2）含有量（体積比）/10-6≤ | 0.5 | 0.5 | 0.05 |
| 一酸化炭素（CO）含有量（体積比）/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05(CO+CO2) |
| 二酸化炭素（CO2）含有量（体積比）/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | |
| メタン（CH₄）4）含有量（体積比）/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | 0.05 |
| 水（H）2O) 含有量（体積比）/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
| クリプトン（Kr）含有量（体積比）/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
| 亜酸化窒素（N2O) 含有量（体積比）/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05 |
| フッ化物（C2F6）含有量（体積比）/10-6≤ | 0.5 | 0.1 | 0.05 |
| フッ化物（SF）6）含有量（体積比）/10-6≤ | 該当なし | 該当なし | 0.05 |
応用分野：主に半導体産業、航空宇宙産業、電気光源産業、医療、電気真空、暗黒物質研究、レーザーなどの分野で使用されます。
ここにメッセージを書いて送信してください
