
| វត្ថុ | លក្ខណៈសម្បត្តិបច្ចេកទេស |
| អេលីយ៉ូមភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ | |
| ភាពបរិសុទ្ធនៃអេលីយ៉ូម He (ប្រភាគបរិមាណ)/10-២≥ | ៩៩.៩៩៩ |
| មាតិកាណេអុង (Ne) (ប្រភាគបរិមាណ)/10-៦≤ | 4 |
| អ៊ីដ្រូសែន (H2) មាតិកា (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6 ≤ | 1 |
| អុកស៊ីសែន (O2) មាតិកា (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6 ≤ | 1 |
| មាតិកាអារហ្គុន (Ar) (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6 ≤ | |
| អាសូត (N2) មាតិកា (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6 ≤ | 2 |
| មាតិកាកាបូនម៉ូណូអុកស៊ីត (CO) (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | ០.៥ |
| កាបូនឌីអុកស៊ីត (CO2)2) មាតិកា (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | ០.៥ |
| មេតាន (CH4) មាតិកា (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | ០.៥ |
| ទឹក H2មាតិកា O (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | 3 |
| មាតិកាទស្សនាវដ្តីសរុប/១០-6≤ | 10 |