
| វត្ថុ | លក្ខណៈសម្បត្តិបច្ចេកទេស | ||
| គ្រីបតុនភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ជីកាបៃ/T5829-2006 | គ្រីបតុនសុទ្ធខ្លាំង | ||
| ភាពបរិសុទ្ធ Kr (ប្រភាគបរិមាណ)/10-2≥ | ៩៩.៩៩៩ | ៩៩.៩៩៩៥ | ៩៩.៩៩៩៩ |
| អាសូត (N2) មាតិកា (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | 2 | ១.៥ | ០.២ |
| អុកស៊ីសែន (O2) មាតិកា (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | ១.៥(អូរ)2+អារ) | ០.៥(អូរ2+អារ) | ០.១ |
| មាតិកាអារហ្គុន (Ar) (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | ០.០៥ | ||
| អ៊ីដ្រូសែន (H2) មាតិកា (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | ០.៥ | ០.២ | ០.០៥ |
| មាតិកាកាបូនម៉ូណូអុកស៊ីត (CO) (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | ០.៣ | ០.១ | ០.០៥ |
| កាបូនឌីអុកស៊ីត (CO2)2) មាតិកា (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | ០.៤ | ០.១ | ០.០៥ |
| មេតាន (CH4) មាតិកា (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | ០.៣ | ០.១ | ០.០៥ |
| ទឹក (ហ2អូ) មាតិកា (ប្រភាគបរិមាណ)/១០-6≤ | 2 | 1 | ០.២ |
| មាតិកា Xenon (Xe) (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | 2 | 1 | ០.២ |
| ហ្វ្លុយអូរីត (CF)4) មាតិកា (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | 1 | ០.២ | ០.០៥ |
វិស័យអនុវត្ត៖ ភាគច្រើនប្រើប្រាស់ក្នុងឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ ឧស្សាហកម្មបូមធូលីអគ្គិសនី ឧស្សាហកម្មប្រភពពន្លឺអគ្គិសនី ក៏ដូចជាឧស្ម័នឡាស៊ែរ សុខភាពវេជ្ជសាស្ត្រ និងវិស័យផ្សេងៗទៀត។