ផលិតផល
សេណុនបរិសុទ្ធខ្ពស់ និង សេណុនបរិសុទ្ធខ្លាំង (Xe: 5N, 5.5N, 6N)
| វត្ថុ | លក្ខណៈសម្បត្តិបច្ចេកទេស | ||
| សេណុនភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ជីកាបៃ/T5828-2006 | សេណុនបរិសុទ្ធខ្លាំង | ||
| ភាពបរិសុទ្ធនៃ Xenon (Xe) (ប្រភាគបរិមាណ)/10-2≥ | ៩៩.៩៩៩ | ៩៩.៩៩៩៥ | ៩៩.៩៩៩៩ |
| អាសូត (N2) មាតិកា (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | ២.៥ | ១.៥ | ០.២ |
| អុកស៊ីសែន (O2) មាតិកា (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | ១.៥(អូរ)2+អារ) | ០.៥(អូរ2+អារ) | ០.១ |
| មាតិកាអារហ្គុន (Ar) (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | ០.០៥ | ||
| អ៊ីដ្រូសែន (H2) មាតិកា (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | ០.៥ | ០.៥ | ០.០៥ |
| មាតិកាកាបូនម៉ូណូអុកស៊ីត (CO) (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | ០.២ | ០.១ | ០.០៥(CO+CO2) |
| មាតិកាកាបូនឌីអុកស៊ីត (CO2) (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | ០.៣ | ០.១ | |
| មេតាន (CH4) មាតិកា (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | ០.៣ | ០.១ | ០.០៥ |
| ទឹក (ហ2អូ) មាតិកា (ប្រភាគបរិមាណ)/១០-6≤ | 2 | 1 | ០.១ |
| មាតិកាគ្រីបតុង (Kr) (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | 2 | 1 | ០.១ |
| អុកស៊ីដអាសូត (N2អូ) មាតិកា (ប្រភាគបរិមាណ)/១០-6≤ | ០.២ | ០.១ | ០.០៥ |
| ហ្វ្លុយអូរីត (C2F6) មាតិកា (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | ០.៥ | ០.១ | ០.០៥ |
| ហ្វ្លុយអូរីត (SF)6) មាតិកា (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | គ្មាន | គ្មាន | ០.០៥ |
វាលកម្មវិធី៖ ភាគច្រើនត្រូវបានប្រើនៅក្នុងឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិក អាកាសចរណ៍ ឧស្សាហកម្មប្រភពពន្លឺអគ្គិសនី ការព្យាបាលវេជ្ជសាស្រ្ត ម៉ាស៊ីនបូមធូលីអគ្គិសនី ការស្រាវជ្រាវរូបធាតុងងឹត ឡាស៊ែរ និងវិស័យផ្សេងៗទៀត
សរសេរសាររបស់អ្នកនៅទីនេះ ហើយផ្ញើវាមកយើង
