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고순도 제논 및 초고순도 제논 (Xe: 5N, 5.5N, 6N)
| 목 | 기술적 속성 | ||
| 고순도 크세논 GB/T5828-2006 | 초고순도 크세논 | ||
| 크세논(Xe) 순도(부피 분율)/10-2≥ | 99.999 | 99.9995 | 99.9999 |
| 질소(N)2) 함량(부피 분율)/10-6≤ | 2.5 | 1.5 | 0.2 |
| 산소(O₂)2) 함량(부피 분율)/10-6≤ | 1.5(O2+Ar) | 0.5(O2+Ar) | 0.1 |
| 아르곤(Ar) 함량(부피 분율)/10-6≤ | 0.05 | ||
| 수소(H)2) 함량(부피 분율)/10-6≤ | 0.5 | 0.5 | 0.05 |
| 일산화탄소(CO) 함량(부피 분율)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05(CO+CO2) |
| 이산화탄소(CO2) 함량(부피 분율)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | |
| 메탄(CH₄)4) 함량(부피 분율)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | 0.05 |
| 물(H)2O) 함량(부피 분율)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
| 크립톤(Kr) 함량(부피 분율)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
| 아산화질소(N₂)2O) 함량(부피 분율)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05 |
| 불소(C)2F6) 함량(부피 분율)/10-6≤ | 0.5 | 0.1 | 0.05 |
| 불소(SF)6) 함량(부피 분율)/10-6≤ | 해당 사항 없음 | 해당 사항 없음 | 0.05 |
응용 분야: 주로 반도체 산업, 항공우주, 광원 산업, 의료, 전기 진공, 암흑 물질 연구, 레이저 및 기타 분야에 사용됩니다.
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