
| zavatra | Fananana ara-teknika | |
| Fahadiovan'ny Argon (Ar) (ampahany amin'ny volume)/10-2≥ | 99.9999 | 99.9992 |
| Hidrôzenina (H2) votoaty (ampahany amin'ny volume)/10-6≤ | 0.1 | 1 |
| Azota (N2) votoaty (ampahany amin'ny volume)/10-6≤ | 0.5 | 5 |
| Oksizenina (O2) votoaty (ampahany amin'ny volume)/10-6≤ | 0.2 | 0.5 |
| Ny votoatin'ny karbônina monoksida (CO) sy ny karbônina dioksida (CO) manontolo2), (ampahany amin'ny volume)/10-6≤ | Karbonina monoksida: 0.1 Dioksida karbônina: 0.1 | 0.5 |
| Totalin'ny hydrocarbon (kajy amin'ny metana) votoatin'ny (ampahany amin'ny volume) / 10-6≤ | 0.1 | 0.5 |
| Rano (H2O) votoaty (ampahany amin'ny volume)/10-6≤ | 0.2 | 0.5 |
| Totalin'ny loto (ampahany amin'ny volume)/10-6≤ | 1 | 8 |
| voa | Eken'ny mpamatsy sy ny mpangataka | Eken'ny mpamatsy sy ny mpangataka |
| Fanamarihana: Ny habetsahan'ny rano ao amin'ny argon ranoka dia tsy maintsy refesina aorian'ny fandrefesana entona. | ||
Sehatry ny fampiharana: ampiasaina indrindra amin'ny fanadiovana, fiarovana ary fanamafisana ny tsindry ao amin'ny rafitra. Azo ampiasaina amin'ny fametrahana etona simika, sputtering, plasma sy active ion etchant, annealing sy dingana samihafa hafa ihany koa izy io, ary koa amin'ny entona mifangaro elektronika manokana.