
| zavatra | Fananana ara-teknika | ||
| Xenon madio avo lenta GB/T5828-2006 | Xenon tena madio | ||
| Fahadiovan'ny Xenon (Xe) (ampahany amin'ny volume)/10-2≥ | 99.999 | 99.9995 | 99.9999 |
| Azota (N2) votoaty (ampahany amin'ny volume)/10-6≤ | 2.5 | 1.5 | 0.2 |
| Oksizenina (O2) votoaty (ampahany amin'ny volume)/10-6≤ | 1.5(O2+Ar) | 0.5(O2+Ar) | 0.1 |
| Votoatin'ny Argon (Ar) (ampahany amin'ny volume)/10-6≤ | 0.05 | ||
| Hidrôzenina (H2) votoaty (ampahany amin'ny volume)/10-6≤ | 0.5 | 0.5 | 0.05 |
| Votoatin'ny karbônina monoksida (CO) (ampahany amin'ny volume)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05(CO+CO2) |
| Votoatin'ny gazy karbonika (CO2) (ampahany amin'ny volume)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | |
| Metana (CH4) votoaty (ampahany amin'ny volume)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | 0.05 |
| Rano (H2O) votoaty (ampahany amin'ny volume)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
| Votoatin'ny Krypton (Kr) (ampahany amin'ny volume)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
| Oksida azota (N2O) votoaty (ampahany amin'ny volume)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05 |
| Fluoride (C2F6) votoaty (ampahany amin'ny volume)/10-6≤ | 0.5 | 0.1 | 0.05 |
| Fluoride (SF)6) votoaty (ampahany amin'ny volume)/10-6≤ | N / A | N / A | 0.05 |
Sehatra fampiharana: ampiasaina indrindra amin'ny indostrian'ny semiconductor, aerospace, indostrian'ny loharanon-jiro elektrika, fitsaboana, banga elektrika, fikarohana momba ny zavatra maizina, laser ary sehatra hafa