Бүтээгдэхүүнүүд
Өндөр цэвэршилттэй ксенон ба хэт цэвэршилттэй ксенон (Xe: 5N, 5.5N, 6N)
| Зүйл | Техникийн өмч | ||
| Өндөр цэвэршилттэй ксенон GB/T5828-2006 | Хэт цэвэр ксенон | ||
| Ксенон (Xe) цэвэршилт (эзэлхүүний фракц)/10-2≥ | 99.999 | 99.9995 | 99.9999 |
| Азот (N)2) агууламж (эзлэхүүний фракц)/10-6≤ | 2.5 | 1.5 | 0.2 |
| Хүчилтөрөгч (O)2) агууламж (эзлэхүүний фракц)/10-6≤ | 1.5(O)2+Ар) | 0.5(O)2+Ар) | 0.1 |
| Аргон (Ar)-ийн агууламж (эзэлхүүний фракц)/10-6≤ | 0.05 | ||
| Устөрөгч (H2) агууламж (эзлэхүүний фракц)/10-6≤ | 0.5 | 0.5 | 0.05 |
| Нүүрстөрөгчийн дутуу исэл (CO)-ийн агууламж (эзэлхүүний фракц)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05(CO+CO)2) |
| Нүүрстөрөгчийн давхар исэл (CO2)-ийн агууламж (эзэлхүүний фракц)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | |
| Метан (CH)4) агууламж (эзлэхүүний фракц)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | 0.05 |
| Ус (H)2O) агууламж (эзлэхүүний фракц)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
| Криптон (Kr)-ийн агууламж (эзлэхүүний фракц)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
| Азотын исэл (N2O) агууламж (эзлэхүүний фракц)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05 |
| Фтор (C)2F6) агууламж (эзлэхүүний фракц)/10-6≤ | 0.5 | 0.1 | 0.05 |
| Фтор (SF)6) агууламж (эзлэхүүний фракц)/10-6≤ | Байхгүй | Байхгүй | 0.05 |
Хэрэглээний салбарууд: голчлон хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл, сансар судлал, цахилгаан гэрлийн эх үүсвэрийн үйлдвэрлэл, эмчилгээ, цахилгаан вакуум, харанхуй бодисын судалгаа, лазер болон бусад салбарт ашиглагддаг
Зурвасаа энд бичээд бидэнд илгээнэ үү
