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Hélio eletrônico
| Item | Propriedade técnica |
| Hélio de alta pureza | |
| Pureza do hélio (fração volumétrica)/10-2≥ | 99,999 |
| Conteúdo de néon (Ne) (fração volumétrica)/10-6≤ | 4 |
| Hidrogênio (H)2) conteúdo (fração de volume)/10-6 ≤ | 1 |
| Oxigênio (O2) conteúdo (fração de volume)/10-6 ≤ | 1 |
| Conteúdo de argônio (Ar) (fração volumétrica)/10-6 ≤ | |
| Nitrogênio (N)2) conteúdo (fração de volume)/10-6 ≤ | 2 |
| Teor de monóxido de carbono (CO) (fração volumétrica)/10-6≤ | 0,5 |
| Dióxido de carbono (CO₂)2) conteúdo (fração de volume)/10-6≤ | 0,5 |
| Metano (CH4)4) conteúdo (fração de volume)/10-6≤ | 0,5 |
| Água H2Conteúdo de O (fração de volume)/10-6≤ | 3 |
| Conteúdo total da revista/10-6≤ | 10 |
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