
| பொருள் | தொழில்நுட்ப சொத்து | ||
| உயர் தூய்மை செனான் GB/T5828-2006 | அதிதூய செனான் | ||
| செனான் (Xe) தூய்மை (பருமன் பின்னம்)/10-2≥ | 99.999 | 99.9995 | 99.9999 |
| நைட்ரஜன் (N)2) உள்ளடக்கம் (கன அளவுப் பின்னம்)/10-6≤ | 2.5 | 1.5 | 0.2 |
| ஆக்ஸிஜன் (O2) உள்ளடக்கம் (கன அளவுப் பின்னம்)/10-6≤ | 1.5(O2+அர்) | 0.5(ஓ2+அர்) | 0.1 |
| ஆர்கான் (Ar) உள்ளடக்கம் (கன அளவுப் பின்னம்)/10-6≤ | 0.05 | ||
| ஹைட்ரஜன் (H)2) உள்ளடக்கம் (கன அளவுப் பின்னம்)/10-6≤ | 0.5 | 0.5 | 0.05 |
| கார்பன் மோனாக்சைடு (CO) உள்ளடக்கம் (கன அளவுப் பின்னம்)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05(CO+CO2) |
| கார்பன் டை ஆக்சைடு (CO2) உள்ளடக்கம் (கன அளவுப் பின்னம்)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | |
| மீத்தேன் (CH)4) உள்ளடக்கம் (கன அளவுப் பின்னம்)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | 0.05 |
| நீர் (H2O) உள்ளடக்கம் (கன அளவுப் பின்னம்)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
| கிரிப்டான் (Kr) உள்ளடக்கம் (கன அளவுப் பின்னம்)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
| நைட்ரஸ் ஆக்சைடு (N)2O) உள்ளடக்கம் (கன அளவுப் பின்னம்)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05 |
| புளோரைடு (சி)2F6) உள்ளடக்கம் (கன அளவுப் பின்னம்)/10-6≤ | 0.5 | 0.1 | 0.05 |
| ஃப்ளோரைடு (SF)6) உள்ளடக்கம் (கன அளவுப் பின்னம்)/10-6≤ | பொருந்தாது | பொருந்தாது | 0.05 |
பயன்பாட்டுத் துறைகள்: முக்கியமாக குறைக்கடத்தித் தொழில், விண்வெளித் துறை, மின் ஒளி மூலத் தொழில், மருத்துவ சிகிச்சை, மின் வெற்றிடம், கரும்பொருள் ஆராய்ச்சி, லேசர் மற்றும் பிற துறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.