
| Öğe | Teknik Özellik | ||
| Yüksek saflıkta ksenon GB/T5828-2006 | Ultra saf ksenon | ||
| Ksenon (Xe) saflığı (hacim oranı)/10-2≥ | 99.999 | 99.9995 | 99.9999 |
| Azot (N2) içerik (hacim oranı)/10-6≤ | 2.5 | 1.5 | 0.2 |
| Oksijen (O2) içerik (hacim oranı)/10-6≤ | 1.5(O2+Ar) | 0.5(O2+Ar) | 0.1 |
| Argon (Ar) içeriği (hacim oranı)/10-6≤ | 0,05 | ||
| Hidrojen (H2) içerik (hacim oranı)/10-6≤ | 0,5 | 0,5 | 0,05 |
| Karbonmonoksit (CO) içeriği (hacim oranı)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05(CO+CO2) |
| Karbondioksit (CO2) içeriği (hacim oranı)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | |
| Metan (CH₄)4) içerik (hacim oranı)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | 0,05 |
| Su (H2O) içerik (hacim oranı)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
| Kripton (Kr) içeriği (hacim oranı)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
| Azot oksit (N2O) içerik (hacim oranı)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0,05 |
| Florür (C2F6) içerik (hacim oranı)/10-6≤ | 0,5 | 0.1 | 0,05 |
| Florür (SF6) içerik (hacim oranı)/10-6≤ | Yok | Yok | 0,05 |
Uygulama alanları: ağırlıklı olarak yarı iletken endüstrisi, havacılık ve uzay sanayi, elektrikli ışık kaynağı endüstrisi, tıp, elektrikli vakum, karanlık madde araştırmaları, lazer ve diğer alanlarda kullanılır.