
ស្ពាន់ធ័រ ហិចសាហ្វ្លុយអូរីត(SF6) គឺជាឧស្ម័នអសរីរាង្គ គ្មានពណ៌ គ្មានក្លិន និងមិនងាយឆេះ។ ការប្រើប្រាស់ចម្បងរបស់ SF6 គឺនៅក្នុងឧស្សាហកម្មអគ្គិសនី ជាឧបករណ៍ឌីអេឡិចត្រិចឧស្ម័នសម្រាប់ឧបករណ៍បំបែកសៀគ្វីវ៉ុលផ្សេងៗ ឧបករណ៍ប្តូរ និងឧបករណ៍អគ្គិសនីផ្សេងទៀត ដែលជារឿយៗជំនួសឧបករណ៍បំបែកសៀគ្វីដែលបំពេញដោយប្រេង (OCBs) ដែលអាចមានផ្ទុក PCB ដែលបង្កគ្រោះថ្នាក់។ ឧស្ម័ន SF6 ក្រោមសម្ពាធត្រូវបានប្រើជាអ៊ីសូឡង់នៅក្នុងឧបករណ៍ប្តូរដែលមានអ៊ីសូឡង់ឧស្ម័ន (GIS) ពីព្រោះវាមានកម្លាំងឌីអេឡិចត្រិចខ្ពស់ជាងខ្យល់ ឬអាសូតស្ងួត។ លក្ខណៈសម្បត្តិនេះធ្វើឱ្យវាអាចកាត់បន្ថយទំហំនៃឧបករណ៍អគ្គិសនីបានយ៉ាងច្រើន។
| រូបមន្តគីមី | SF6 | លេខ CAS | ២៥៥១-៦២-៤ |
| រូបរាង | ឧស្ម័នគ្មានពណ៌ | ម៉ាស់ម៉ូលជាមធ្យម | ១៤៦,០៥ ក្រាម/ម៉ូល |
| ចំណុចរលាយ | -៦២អង្សាសេ | ទម្ងន់ម៉ូលេគុល | ១៤៦.០៥ |
| ចំណុចរំពុះ | -៥១អង្សាសេ | ដង់ស៊ីតេ | ៦.០៨៨៦គីឡូក្រាម/គូបម៉ែត្រ |
| ភាពរលាយ | រលាយស្រាល |
ស្ពាន់ធ័រហិចសាហ្វ្លុយអូរីត (SF6) ជាធម្មតាមាននៅក្នុងស៊ីឡាំង និងធុងស្គរ។ ជាធម្មតាវាត្រូវបានគេប្រើនៅក្នុងឧស្សាហកម្មមួយចំនួនរួមមាន៖
១) ថាមពល និងថាមពល៖ ត្រូវបានប្រើជាចម្បងជាឧបករណ៍អ៊ីសូឡង់សម្រាប់ឧបករណ៍អគ្គិសនី និងអេឡិចត្រូនិចវ៉ុលខ្ពស់ជាច្រើនប្រភេទ ដូចជាឧបករណ៍បំបែកសៀគ្វី ឧបករណ៍ប្តូរល្បឿន និងឧបករណ៍បង្កើនល្បឿនភាគល្អិត។
2) កញ្ចក់៖ បង្អួចអ៊ីសូឡង់ - កាត់បន្ថយការបញ្ជូនសំឡេង និងការផ្ទេរកំដៅ។
៣) ដែកថែប និងលោហធាតុ៖ ក្នុងការផលិត និងការបន្សុទ្ធម៉ាញ៉េស្យូមរលាយ និងអាលុយមីញ៉ូម។
៤) គ្រឿងអេឡិចត្រូនិច៖ ស្ពាន់ធ័រហិចសាហ្វ្លុយអូរីតដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ត្រូវបានប្រើក្នុងកម្មវិធីអេឡិចត្រូនិច និងស៊ីមីកុងដុកទ័រ។
| ទំនិញ | លក្ខណៈពិសេស | ឯកតា |
| ភាពបរិសុទ្ធ | ≥99.999 | % |
| O2+អារ | ≤2.0 | ppmv |
| N2 | ≤2.0 | ppmv |
| CF4 | ≤0.5 | ppmv |
| CO | ≤0.5 | ppmv |
| CO2 | ≤0.5 | ppmv |
| CH4 | ≤0.1 | ppmv |
| H2O | ≤2.0 | ppmv |
| ហ្វ្លុយអូរីតដែលអាចរំលាយបានដោយទឹក | ≤0.2 | ប៉េប៉េអឹម |
| ជាតិអាស៊ីត | ≤0.3 | ppmv |
កំណត់ចំណាំ
១) ទិន្នន័យបច្ចេកទេសទាំងអស់ដែលបានបង្ហាញខាងលើគឺសម្រាប់ជាឯកសារយោងរបស់អ្នក។
២) លក្ខណៈបច្ចេកទេសជំនួសត្រូវបានស្វាគមន៍សម្រាប់ការពិភាក្សាបន្ថែម។