
| វត្ថុ | លក្ខណៈសម្បត្តិបច្ចេកទេស | ||
| អុកស៊ីសែនសុទ្ធ | អុកស៊ីសែនសុទ្ធខ្ពស់ | អុកស៊ីសែនសុទ្ធខ្លាំង | |
| អុកស៊ីសែន (O2) ភាពបរិសុទ្ធ (ប្រភាគបរិមាណ)/10-2≥ | ៩៩.៩៩៥ | ៩៩.៩៩៩ | ៩៩.៩៩៩៩ |
| អ៊ីដ្រូសែន (H2) មាតិកា (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | 1 | ០.៥ | ០.១ |
| មាតិកាអារហ្គុន (Ar) (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | 10 | 2 | ០.២ |
| អាសូត (N2) មាតិកា (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | 20 | 5 | ០.១ |
| កាបូនឌីអុកស៊ីត (CO2)2) មាតិកា (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | 1 | ០.៥ | ០.១ |
| មាតិកាអ៊ីដ្រូកាបូនសរុប (ប្រភាគបរិមាណ) (គណនាដោយមេតាន)/10-6≤ | 2 | ០.៥ | ០.១ |
| ទឹក (ហ2អូ) មាតិកា (ប្រភាគបរិមាណ)/១០-6≤ | 3 | 2 | ០.៥ |
វាលកម្មវិធី៖ ភាគច្រើនត្រូវបានប្រើក្នុងការរៀបចំល្បាយឧស្ម័នស្តង់ដារ ការស្រាវជ្រាវវិទ្យាសាស្ត្រ ការផលិតសៀគ្វីរួមបញ្ចូល និងឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រ និងវិស័យផ្សេងៗទៀតដែលមានតម្រូវការខ្ពស់សម្រាប់ភាពបរិសុទ្ធនៃអុកស៊ីសែន។