제품
순수 산소, 고순도 산소, 초순수 산소(O2)
| 목 | 기술적 속성 | ||
| 순수 산소 | 고순도 산소 | 초순수 산소 | |
| 산소(O₂)2) 순도(부피 분율)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
| 수소(H)2) 함량(부피 분율)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
| 아르곤(Ar) 함량(부피 분율)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
| 질소(N)2) 함량(부피 분율)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
| 이산화탄소(CO₂)2) 함량(부피 분율)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
| 총 탄화수소 함량(부피 분율)(메탄으로 계산)/10-6≤ | 2 | 0.5 | 0.1 |
| 물(H)2O) 함량(부피 분율)/10-6≤ | 3 | 2 | 0.5 |
적용 분야: 주로 표준 가스 혼합물 제조, 과학 연구, 집적 회로 및 반도체 소자 생산 등 산소 순도가 높은 분야에 사용됩니다.
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