
| ລາຍການ | ຊັບສິນທາງດ້ານເຕັກນິກ | ||
| ໄນໂຕຣເຈນບໍລິສຸດ | ໄນໂຕຣເຈນທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ | ໄນໂຕຣເຈນບໍລິສຸດພິເສດ | |
| ໄນໂຕຣເຈນ (N)2) ຄວາມບໍລິສຸດ (ສ່ວນປະລິມານ)/10-2≥ | 99.99 | 99.999 | 99.9999 |
| ອົກຊີເຈນ (O2) ເນື້ອໃນ (ສ່ວນປະລິມານ)/10-6≤ | 50 | 3 | 0.1 |
| ປະລິມານອາກອນ (Ar) (ປະລິມານສ່ວນ)/10-6≤ | - | - | 2 |
| ໄຮໂດຣເຈນ (H2) ເນື້ອໃນ (ສ່ວນປະລິມານ)/10-6≤ | 15 | 1 | 0.1 |
| ປະລິມານຄາບອນມໍນອກໄຊດ໌ (CO) (ປະລິມານສ່ວນ)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
| ຄາບອນໄດອອກໄຊ (CO2)2) ເນື້ອໃນ (ສ່ວນປະລິມານ)/10-6≤ | 10 | 1 | 0.1 |
| ມີເທນ (CH4)4) ເນື້ອໃນ (ສ່ວນປະລິມານ)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
| ນ້ຳ (H2O) ເນື້ອໃນ (ສ່ວນປະລິມານ)/10-6≤ | 15 | 3 | 0.5 |