
| รายการ | คุณสมบัติทางเทคนิค | ||
| ไนโตรเจนบริสุทธิ์ | ไนโตรเจนบริสุทธิ์สูง | ไนโตรเจนบริสุทธิ์พิเศษ | |
| ไนโตรเจน (N)2ความบริสุทธิ์ (เศษส่วนปริมาตร)/10-2≥ | 99.99 | 99.999 | 99.9999 |
| ออกซิเจน (O2) ปริมาณ (เศษส่วนปริมาตร)/10-6≤ | 50 | 3 | 0.1 |
| ปริมาณอาร์กอน (Ar) (เศษส่วนปริมาตร)/10-6≤ | - | - | 2 |
| ไฮโดรเจน (H)2) ปริมาณ (เศษส่วนปริมาตร)/10-6≤ | 15 | 1 | 0.1 |
| ปริมาณคาร์บอนมอนอกไซด์ (CO) (เศษส่วนปริมาตร)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
| คาร์บอนไดออกไซด์ (CO₂)2) ปริมาณ (เศษส่วนปริมาตร)/10-6≤ | 10 | 1 | 0.1 |
| มีเทน (CH4) ปริมาณ (เศษส่วนปริมาตร)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
| น้ำ (H2O) ปริมาณ (เศษส่วนปริมาตร)/10-6≤ | 15 | 3 | 0.5 |