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純窒素、高純度窒素、超高純度窒素（N2）
| アイテム | 技術特性 | ||
| 純窒素 | 高純度窒素 | 超高純度窒素 | |
| 窒素（N2純度（体積分率）/10-2≥ | 99.99 | 99.999 | 99.9999 |
| 酸素（O2）含有量（体積比）/10-6≤ | 50 | 3 | 0.1 |
| アルゴン（Ar）含有量（体積比）/10-6≤ | - | - | 2 |
| 水素（H2）含有量（体積比）/10-6≤ | 15 | 1 | 0.1 |
| 一酸化炭素（CO）含有量（体積比）/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
| 二酸化炭素（CO₂）2）含有量（体積比）/10-6≤ | 10 | 1 | 0.1 |
| メタン（CH₄）4）含有量（体積比）/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
| 水（H）2O) 含有量（体積比）/10-6≤ | 15 | 3 | 0.5 |
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