
| Mục | Đặc tính kỹ thuật | ||
| Nitơ tinh khiết | Nitơ có độ tinh khiết cao | nitơ siêu tinh khiết | |
| Nitơ (N)2) độ tinh khiết (phần trăm thể tích)/10-2≥ | 99,99 | 99.999 | 99.9999 |
| Oxy (O)2) hàm lượng (phần trăm thể tích)/10-6≤ | 50 | 3 | 0,1 |
| Hàm lượng Argon (Ar) (phần trăm thể tích)/10-6≤ | - | - | 2 |
| Hydro (H)2) hàm lượng (phần trăm thể tích)/10-6≤ | 15 | 1 | 0,1 |
| Hàm lượng carbon monoxide (CO) (phần trăm thể tích)/10-6≤ | 5 | 1 | 0,1 |
| Khí cacbonic (CO₂)2) hàm lượng (phần trăm thể tích)/10-6≤ | 10 | 1 | 0,1 |
| Methane (CH4) hàm lượng (phần trăm thể tích)/10-6≤ | 5 | 1 | 0,1 |
| Nước (H)2O) hàm lượng (phần trăm thể tích)/10-6≤ | 15 | 3 | 0,5 |