
| វត្ថុ | លក្ខណៈសម្បត្តិបច្ចេកទេស | ||
| អាសូតសុទ្ធ | អាសូតភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ | អាសូតបរិសុទ្ធខ្លាំង | |
| អាសូត (N2) ភាពបរិសុទ្ធ (ប្រភាគបរិមាណ)/10-2≥ | ៩៩.៩៩ | ៩៩.៩៩៩ | ៩៩.៩៩៩៩ |
| អុកស៊ីសែន (O2) មាតិកា (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | 50 | 3 | ០.១ |
| មាតិកាអារហ្គុន (Ar) (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | - | - | 2 |
| អ៊ីដ្រូសែន (H2) មាតិកា (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | 15 | 1 | ០.១ |
| មាតិកាកាបូនម៉ូណូអុកស៊ីត (CO) (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | 5 | 1 | ០.១ |
| កាបូនឌីអុកស៊ីត (CO2)2) មាតិកា (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | 10 | 1 | ០.១ |
| មេតាន (CH4) មាតិកា (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | 5 | 1 | ០.១ |
| ទឹក (ហ2អូ) មាតិកា (ប្រភាគបរិមាណ)/១០-6≤ | 15 | 3 | ០.៥ |