
| Буюм | Техникалык мүлк | ||
| Таза азот | Жогорку тазалыктагы азот | Өтө таза азот | |
| Азот (N)2) тазалык (көлөмдүк үлүшү)/10-2≥ | 99.99 | 99.999 | 99.9999 |
| Кычкылтек (O)2) мазмуну (көлөмдүк үлүшү)/10-6≤ | 50 | 3 | 0.1 |
| Аргондун (Ar) курамы (көлөмдүк үлүшү)/10-6≤ | - | - | 2 |
| Суутек (H2) мазмуну (көлөмдүк үлүшү)/10-6≤ | 15 | 1 | 0.1 |
| Көмүртек кычкылынын (CO) курамы (көлөмдүк үлүшү)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
| Көмүр кычкыл газы (CO2)2) мазмуну (көлөмдүк үлүшү)/10-6≤ | 10 | 1 | 0.1 |
| Метан (CH)4) мазмуну (көлөмдүк үлүшү)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
| Суу (H)2O) мазмуну (көлөмдүк үлүшү)/10-6≤ | 15 | 3 | 0,5 |