
| غرض | الملكية الفنية | ||
| أكسجين نقي | أكسجين عالي النقاء | أكسجين فائق النقاء | |
| الأكسجين (O2) النقاء (النسبة الحجمية)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
| الهيدروجين (H2) المحتوى (الكسر الحجمي)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
| محتوى الأرجون (Ar) (الكسر الحجمي)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
| النيتروجين (N2) المحتوى (الكسر الحجمي)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
| ثاني أكسيد الكربون (CO2) المحتوى (الكسر الحجمي)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
| إجمالي محتوى الهيدروكربونات (النسبة الحجمية) (محسوبًا بواسطة الميثان)/10-6≤ | 2 | 0.5 | 0.1 |
| الماء (H)2O) المحتوى (الكسر الحجمي)/10-6≤ | 3 | 2 | 0.5 |
مجال التطبيق: يستخدم بشكل رئيسي في تحضير خليط الغاز القياسي، والبحث العلمي، وإنتاج الدوائر المتكاملة وأجهزة أشباه الموصلات، وغيرها من المجالات ذات المتطلبات العالية لنقاء الأكسجين.