अनुप्रयोग क्षेत्र: मुख्यतः मानक वायू मिश्रण तयार करणे, वैज्ञानिक संशोधन, एकात्मिक सर्किट्स आणि सेमीकंडक्टर उपकरणांचे उत्पादन, आणि ऑक्सिजन शुद्धतेची उच्च आवश्यकता असलेल्या इतर क्षेत्रांमध्ये वापरले जाते.