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Oxigênio puro, oxigênio de alta pureza, oxigênio ultrapuro (O2)
| Item | Propriedade técnica | ||
| Oxigênio puro | Oxigênio de alta pureza | Oxigênio ultrapuro | |
| Oxigênio (O2pureza (fração volumétrica)/10-2≥ | 99,995 | 99,999 | 99,9999 |
| Hidrogênio (H)2) conteúdo (fração de volume)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
| Conteúdo de argônio (Ar) (fração volumétrica)/10-6≤ | 10 | 2 | 0,2 |
| Nitrogênio (N)2) conteúdo (fração de volume)/10-6≤ | 20 | 5 | 0,1 |
| Dióxido de carbono (CO₂)2) conteúdo (fração de volume)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
| Teor total de hidrocarbonetos (fração volumétrica) (calculado com base no metano)/10-6≤ | 2 | 0,5 | 0,1 |
| Água (H2O) conteúdo (fração de volume)/10-6≤ | 3 | 2 | 0,5 |
Campo de aplicação: utilizado principalmente na preparação de misturas gasosas padrão, pesquisa científica, produção de circuitos integrados e dispositivos semicondutores, e outras áreas com altos requisitos de pureza de oxigênio.
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