Àwọn ọjà
Atẹgun mimọ, Atẹgun mimọ giga, Atẹgun mimọ-pupọ (O2)
| Ohun kan | Ohun-ini Imọ-ẹrọ | ||
| Atẹ́gùn mímọ́ | Atẹgun mimọ giga | Atẹ́gùn tó mọ́ tónítóní | |
| Atẹ́gùn (O2) ìwẹ̀nùmọ́ (ìpín ìwọ́n)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
| Hídírójìn (H)2) akoonu (ìpín iwọn didun)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
| Àkóónú Argon (Ar) (ìpín ìdìpọ̀)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
| Nitrogen (N)2) akoonu (ìpín iwọn didun)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
| Erogba oloro (CO)2) akoonu (ìpín iwọn didun)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
| Àpapọ̀ iye hydrocarbon (ìpín ìwọ̀n) (tí a ṣírò nípasẹ̀ methane)/10-6≤ | 2 | 0.5 | 0.1 |
| Omi (H)2O) akoonu (ìpín iwọn didun)/10-6≤ | 3 | 2 | 0.5 |
Aaye ohun elo: o kun fun lilo ninu igbaradi ti adalu gaasi boṣewa, iwadii imọ-jinlẹ, iṣelọpọ awọn iyika ti a ṣepọ ati awọn ẹrọ semikondokito, ati awọn aaye miiran pẹlu awọn ibeere giga fun mimọ atẹgun.
Kọ ifiranṣẹ rẹ si ibi ki o fi ranṣẹ si wa
