
| Элемент | Технические свойства | ||
| Чистый кислород | Кислород высокой чистоты | Сверхчистый кислород | |
| Кислород (O)2) чистота (объемная доля)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
| Водород (H)2) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0.1 |
| Содержание аргона (Ar) (объемная доля)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
| Азот (N)2) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
| Углекислый газ (CO₂)2) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0.1 |
| Общее содержание углеводородов (объемная доля) (рассчитанное по метану)/10-6≤ | 2 | 0,5 | 0.1 |
| Вода (H)2O) содержание (объемная доля)/10-6≤ | 3 | 2 | 0,5 |
Область применения: в основном используется для приготовления стандартных газовых смесей, научных исследований, производства интегральных схем и полупроводниковых приборов, а также в других областях с высокими требованиями к чистоте кислорода.