
| பொருள் | தொழில்நுட்ப சொத்து | ||
| தூய ஆக்ஸிஜன் | உயர் தூய்மையான ஆக்ஸிஜன் | அதிதூய ஆக்ஸிஜன் | |
| ஆக்ஸிஜன் (O2) தூய்மை (கன அளவுப் பின்னம்)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
| ஹைட்ரஜன் (H)2) உள்ளடக்கம் (கன அளவுப் பின்னம்)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
| ஆர்கான் (Ar) உள்ளடக்கம் (கன அளவுப் பின்னம்)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
| நைட்ரஜன் (N)2) உள்ளடக்கம் (கன அளவுப் பின்னம்)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
| கார்பன் டை ஆக்சைடு (CO)2) உள்ளடக்கம் (கன அளவுப் பின்னம்)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
| மொத்த ஹைட்ரோகார்பன் உள்ளடக்கம் (கன அளவுப் பின்னம்) (மீத்தேன் மூலம் கணக்கிடப்பட்டது)/10-6≤ | 2 | 0.5 | 0.1 |
| நீர் (H2O) உள்ளடக்கம் (கன அளவுப் பின்னம்)/10-6≤ | 3 | 2 | 0.5 |
பயன்பாட்டுத் துறை: முக்கியமாகத் தரப்படுத்தப்பட்ட வாயுக்கலவைகளைத் தயாரித்தல், அறிவியல் ஆராய்ச்சி, ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்றுகள் மற்றும் குறைக்கடத்திச் சாதனங்களின் உற்பத்தி, மற்றும் ஆக்சிஜன் தூய்மைக்கு அதிகத் தேவைகள் உள்ள பிற துறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.