
| zavatra | Fananana ara-teknika | ||
| Oksizenina madio | Oksizenina madio avo lenta | Oksizenina tena madio | |
| Oksizenina (O2) fahadiovana (ampahany amin'ny volume)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
| Hidrôzenina (H2) votoaty (ampahany amin'ny volume)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
| Votoatin'ny Argon (Ar) (ampahany amin'ny volume)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
| Azota (N2) votoaty (ampahany amin'ny volume)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
| Dioksida karbônina (CO2) votoaty (ampahany amin'ny volume)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
| Ny votoatin'ny hidrokarbonina manontolo (ampahany amin'ny volume) (kajy amin'ny metana)/10-6≤ | 2 | 0.5 | 0.1 |
| Rano (H2O) votoaty (ampahany amin'ny volume)/10-6≤ | 3 | 2 | 0.5 |
Sehatra fampiharana: ampiasaina indrindra amin'ny fanomanana ny fangaroan-gazy mahazatra, fikarohana siantifika, famokarana faritra mitambatra sy fitaovana semiconductor, ary sehatra hafa izay mitaky fahadiovana oksizenina avo lenta.